中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司超大规模集成电路芯片生产线建设项目—8 英寸9万片/月扩产项目安全预评价报告

项目名称

中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司超大规模集成电路芯片生产线建设项目—8 英寸9万片/月扩产项目安全预评价报告

评价类型

安全预评价

委托方

中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司

报告提交

时间

2022.1.21

项目概况

单位简介

中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司为中芯国际集成电路制造有限公司的子公司,2008年3月20日成立,注册地址为深圳市坪山区龙田街道老坑社区高芯路18号,法定代表人高永岗,统一社会信用代码为914403006729728144。主要生产的产品有:CMOS电路芯片和MEMS电路芯片两类,均不属于危险化学品,但生产中有用到危险化学品,属于危险化学品使用单位。

项目简介

中芯国际集成电路(深圳)有限公司总用地面积68308.03mm,总建筑面积227067.69m,计容积率建筑面积269417.81m。

中芯国际公司建设分两期完成,其一期厂房及辅助设施基本完成,此次9万片/月扩产项目位于厂房FAB5内。芯片生产厂房FAB5占地面积 20,974.40平方米,建筑面积69,288.19平方米;该厂房分为支持区及生产区,支持区共有三层,为生产区提供支持;芯片生产区分为三层,局部四层。结构体分为和支持区相联的框架结构部分和独立的钢屋架及剪力墙结构部分,之间有4.2m的管道竖井。一层为非洁净下夹层,主要布置水、气、化功能区,第二层为洁净生产下夹层,主要布置工艺设备附属设备及动力管道。第三层为生产层,在钢屋架区域为满足抗微振要求,采用严格的防微振措施。局部四层为供FAB5使用的新风机房及有机排气的区域。

地理位置和周边环境

该扩产项目选址位于深圳市坪山区龙田街道老坑社区高芯路18号,中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司的芯片生产厂房FAB5。

评价项目组分工


姓名

资格

主要任务

参与项目时间

项目组长

郑师谊

二级安全评价师

项目主要负责人

2021年5月-2022年1月

成员

郑师谊

二级安全评价师

项目主要负责人

2021年5月-2022年1月

佘光颂

二级安全评价师

参与项目实施

2021年5月-2022年1月

张士兵

一级安全评价师

参与项目实施

2021年5月-2022年1月

技术专家



报告编制人

郑师谊

报告审核人

樊鸿

技术负责人

王 璞

过程控制负责人

刘明华

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深圳市世和安全技术咨询有限公司

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