委托方

信息产业电子十一设计研究院科技工程股份有限公司

报告提交时间

2022年3月10日

项目概况

单位简介

深圳方正微电子有限公司成立于2003年12月26日，是一家从事研究开发集成电路芯片及相关产品，加工、生产经营线宽0.35微米及以下大规模集成电路芯片、线宽0.35微米以上集成电路芯片（包括SiGe集成电路芯片和Si集成电路芯片）；产品的售后技术服务和应用开发。厂址位于深圳市龙岗区宝龙工业城宝龙七路5号方正微电子工业园。

项目简介

（1）建设项目名称：深圳方正微电子有限公司氮化镓MOCVD外延技术改造项目新建氢气/氨气站

（2）建设单位：深圳方正微电子有限公司

（3）建设地点：深圳市龙岗区宝龙工业城宝龙七路5号方正微电子工业园

（4）新建氢气/氨气站面积：336m²

地理位置和周边环境

本项目（新建氢气/氨气站）厂址选定在深圳市龙岗区宝龙工业区宝龙七路深圳方正微电子有限公司园区内西南侧，项目西侧为围墙，围墙外为宝龙六路、宝龙六路对面为文海公寓；东侧为方正微公司动力站；南侧为方正微公司甲类化学品库，甲类化学品库外侧为围墙，围墙外侧为甘霖酒店、高科大道、高科大道对面为深圳深爱半导体股份有限公司；北侧为方正微公司FMI大宗气站。

评价项目组分工

姓名

资格

主要任务

参与项目时间

项目组长

徐  钊

1800000000201106

现场勘查、统筹工作、编制报告

2021.12.1-2022.3.10

成员

徐  钊

1800000000201106

现场勘查、统筹工作、编制报告

2021.12.1-2022.3.10

张建东

1700000000301684

现场勘查、编制报告

2021.12.1-2022.3.10

胡  倩

S011044000110192002805

编制报告

2021.12.1-2022.3.10

技术专家

无

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报告编制人

徐  钊、张建东、胡倩

报告审核人

樊鸿

技术负责人

李卓汉

过程控制负责人

刘明华